피에조 기술을 활용하여 반도체 시장에서 기술력이 뛰어난 솔루션을 제안합니다.
피에조 기술 기반의 비례제어밸브를 통해 공압을 이용한 모션 제어를 선보입니다. 일반 공압실린더의 속도 뿐만이 아니라 힘 제어, 동기 제어가 가능하고 다위치 제어가 가능합니다. 모터를 사용하지 않아 공간 효율성이 뛰어나고, 디지털 파라미터를 통해 동작하기에 유연한 움직임을 보장합니다.
피에조 밸브를 이용하여 디스펜싱 압력을 모션 프로파일 제어를 구현하였습니다. 다수의 수동 제어를 디지털화하여 효율적인 유지보수 관리를 가능케 하는 솔루션입니다. 최대 10mbar의 압력 제어가 가능합니다.